螺杆真空泵,无油静音的真空革命——让精密制造告别油污与震动,效率悄然升级。
干式螺杆真空泵,无油洁净零污染,高效节能长寿命,专为半导体与医药等高端真空场景量身打造。
无油洁净,零污染
采用非接触式螺杆转子设计,工作腔无需润滑油,彻底杜绝油蒸气反流,满足半导体、医药、科研等对洁净度要求严苛的工艺环境。
节能高效,运行成本低
高效型线转子配合变频驱动,容积效率超85%,较传统油封泵节能20–30%,极限功耗低至8.8kW,长期使用显著降低电费支出。
长寿命,高可靠性
转子无摩擦运行,平均无故障时间超20,000小时;非接触轴封+夹套水冷设计,耐腐蚀、抗粉尘,适应湿气、溶剂蒸汽等复杂工况。
维护简便,低运维负担
日常仅需定期更换进气过滤器,无需换油、无油污清理,齿轮箱采用免润滑设计,维护周期延长50%以上,减少非计划停机。
宽压运行,静音稳定
可从大气压直接启动,稳定工作范围覆盖10³–10⁻¹ Pa;优化结构设计使运行噪音低于64 dB(A),振动极小,适配精密产线环境。
适用于:半导体刻蚀、光伏镀膜、医药冻干、化工蒸馏、实验室真空系统等场景。
作为干式真空泵的主流选择,螺杆泵正逐步替代旋片泵与爪式泵,成为现代工业清洁真空的首选方案。