在半导体、光伏、新能源等高端制造领域,真空泵正成为“卡脖子”环节的关键突破口。国产品牌已从“跟跑”迈向“并跑”,部分技术实现全球领先。
核心品牌与技术突破
德耐尔(DENAIR):国家级专精特新“小巨人”,DSV系列干式泵极限真空2Pa,采用全氟醚密封圈(耐温-50℃~320℃)与陶瓷涂层转子(HRC85硬度),耐腐蚀、抗粉尘冲刷,连续运行2000小时磨损量<3μm,彻底杜绝油污染,满足半导体、医药等洁净工艺严苛要求。
北京中科科仪:国产分子泵龙头,产品应用于中芯国际、华虹集团等产线,实现集成电路关键设备“零突破”,极限真空达10⁻⁸Pa级。
汉钟精机:干式螺杆泵市占率国内第一,专利永磁变频技术节能超50%,噪声降低2个等级,光伏单晶硅拉制设备配套率达60%。
国产真空泵已从“低价替代”升级为“技术引领”。无油、节能、智能调控成为新标准,国产厂家服务响应速度(如4小时现场支持)更是对售后问题的保障。